真空熱處理即真空技能與熱處理兩個專業(yè)相結(jié)合的綜合技能，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的。真空熱處理爐熱效率高，可實現(xiàn)快速升溫文降溫，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脫脂除氣等效果，從而到達外表亮光凈化的效果。
我國將真空劃分為低、中、高和超高真空?，F(xiàn)在大多數(shù)真空熱處理爐的作業(yè)真空度在1.33~1.33×10–3Pa。 真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結(jié)、外表處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現(xiàn)快速升溫文降溫，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脫脂除氣等效果，從而到達外表亮光凈化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內(nèi)加熱緩慢，內(nèi)熱溫差較小，熱應(yīng)力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高?？山档统杀?，有除氣效果，從而提高了作業(yè)的機械功能和使用壽命。作業(yè)環(huán)境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆風(fēng)險，對鈦材和難熔金屬殼避免外表氫脆，真空熱處理工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性好。這一系列的優(yōu)點，開發(fā)真空熱處理設(shè)備和工藝被越來越注重和使用越來越廣。
一般金屬材料在空氣爐中加熱，因為空氣中存在氧氣、水蒸氣、二氧化碳等氧化性氣體，這些氣體與金屬發(fā)生氧化效果易使被加熱的金屬外表產(chǎn)生氧化膜或氧化皮，完全失去原有的金屬光澤。一起這些氣體還要與金屬中的碳發(fā)生反應(yīng)，使其外表脫碳。如果爐中含有一氧化碳或甲烷氣體，還會使金屬外表增碳。關(guān)于化學(xué)性質(zhì)非常生動的Ti、Zr以及難溶金屬W、Mo、Nb、Ta等，在空氣爐中加熱，除了要生成氧化物、氫化物、氮化物外，還要吸收這些氣體并向金屬內(nèi)部擴散，使金屬材料的功能嚴(yán)峻惡化。這些氧化、脫碳、增碳、吸氣甚至產(chǎn)生腐蝕等弊端，在可控氣氛爐或鹽浴爐中加熱，有時也難以避免。為解決這一問題，通常的做法是在工件熱處理前留有加工余量，熱處理后在加工去掉氧化、脫碳層等。
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