石墨真空爐配件種類豐富,根據(jù)功用可分為加熱元件、結(jié)構(gòu)支撐件、導(dǎo)電銜接件、隔熱組件及功用配件五大類。以下按類別具體說明其功用與使用場景:
一、加熱元件
1.石墨加熱棒/管
功用:中心發(fā)熱部件,使用電阻效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為熱能,工作溫度可達(dá)3000℃(真空或慵懶氣氛下)。
特點(diǎn):升溫快、熱慣性小,外表功率密度需控制以防局部過熱。
2.石墨加熱室
功用:包容被加熱物料,提供均勻高溫環(huán)境。
使用:單晶硅成長、陶瓷燒結(jié)、金屬熱處理等精密工藝。
二、結(jié)構(gòu)支撐件
1.石墨支架/料盤
功用:承托工件,保證高溫下安穩(wěn)支撐。
特性:低熱膨脹系數(shù)(約4.75×10??/°C),避免熱變形導(dǎo)致工件偏移。
2.石墨導(dǎo)軌/軸承
功用:引導(dǎo)物料移動(dòng),削減摩擦損耗。
優(yōu)勢:自潤滑性,無需額外潤滑油,耐腐蝕且習(xí)慣高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.石墨螺絲/螺栓/螺母
功用:高溫緊固件,代替金屬螺絲在極點(diǎn)溫度下銜接部件。
特點(diǎn):耐2000℃以上高溫,化學(xué)慵懶強(qiáng),避免污染工藝環(huán)境。
三、導(dǎo)電銜接件
1.石墨導(dǎo)電桿/接頭
功用:傳輸電流至加熱元件,保證電路安穩(wěn)。
要求:低電阻率(8~13×10?? Ω·m),高純度(固定碳≥99.99%)以削減能量損耗。
2.石墨銜接板
功用:整合多組電路,優(yōu)化電流分配。
使用:大型真空爐的并聯(lián)電路設(shè)計(jì),避免電阻差異導(dǎo)致過載。
四、隔熱組件
1.石墨硬氈/軟氈
功用:包裹爐腔,削減熱量散失。
特性:
導(dǎo)熱系數(shù)低(0.04~0.1 W/m·K),節(jié)能效果顯著;
抗熱震性強(qiáng),急冷急熱不決裂。
2.石墨隔熱屏
功用:分層阻隔熱輻射,提升溫場均勻性。
使用:半導(dǎo)體單晶爐、航空航天資料熱處理。
五、功用配件
1.石墨電扇葉片
功用:強(qiáng)制爐內(nèi)氣流循環(huán),均衡溫度散布。
優(yōu)勢:高溫強(qiáng)度隨溫度升高而增加(2000℃時(shí)強(qiáng)度為室溫2倍)。
2.石墨坩堝/燒結(jié)石墨箱
功用:盛放熔融金屬或化學(xué)試劑。
特性:耐酸堿性、抗金屬滋潤,用于有色金屬鍛煉或CVD工藝。
3.石墨密封圈/墊片
功用:保障真空密封性,避免氣體泄漏。
適用場景:反應(yīng)釜、泵閥體系。
六、使用與選型注意事項(xiàng)
1.防氧化處理:
非真空環(huán)境需慵懶氣體(N?/Ar)維護(hù),或采用抗氧化涂層(如陶瓷鍍層)。
2.電氣匹配:
多加熱棒并聯(lián)使用,避免因電阻差異導(dǎo)致局部過熱。
3.材質(zhì)等級:
精密工藝(如半導(dǎo)體)選用高純等靜壓石墨(灰分<50 ppm);
一般工業(yè)可用EDM石墨(成本低,加工速度快)。
石墨真空爐配件以耐高溫、低膨脹、化學(xué)慵懶為中心優(yōu)勢,覆蓋從發(fā)熱、支撐到密封的全流程需求。選型時(shí)需歸納溫度、氣氛及工藝精度要求,優(yōu)先考慮高純度與專業(yè)加工服務(wù)(如CNC定制),以保證設(shè)備高效安穩(wěn)運(yùn)轉(zhuǎn)。