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設備本錢高：真空石墨電阻爐不只需求高溫資料，還需求精密的操控系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，設備本錢較高。
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高溫安穩(wěn)：真空石墨電阻爐選用石墨作為電阻資料，可以接受高溫，且熱場分布均勻，溫度安穩(wěn)性好。
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真空石墨電阻爐具有廣泛的使用領域，如化學材料的熱處理、陶瓷的燒結、高溫合金的加工、納米材料的制備等。其使用規(guī)模也正在不斷擴大。
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真空石墨電阻爐是一種高溫材料處理設備，主要由爐體、電加熱器、真空體系、氣體操控體系、溫度丈量與操控體系等部分組成。其原理是使用石墨作為電阻材料，通過電加熱升溫，一起使用真空體系掃除氣體，完成高溫環(huán)境下對物料的處理。真空體系除了能夠掃除氧氣等氣體，還能夠操控氣體含量和壓力，然后操控反應氣氛。
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真空爐是一種高溫真空設備，主要由爐體、加熱元件、真空體系、氣體放控體系、記錄儀等部分組成。
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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。依據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
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真空淬火（回火、退火）就是經過把資料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來到達預期性能的一種處理方法。
