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由高熔點金屬制成的真空熱處理爐加熱元件會跟著真空度和溫度的升高而蒸騰加重，如鉬在1800℃、鉭在2200℃、鎢在2400℃以上運(yùn)用時，蒸騰更為劇烈。石墨的熔點很高為3700℃，但其在真空中運(yùn)用溫度超過2400℃時也會敏捷蒸騰，為了按捺真空熱處理爐加熱元件在真空中的蒸騰，可在爐內(nèi)通入一定壓力的惰性氣體或高純氮氣。
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真空爐加熱元件的結(jié)構(gòu)方法直接影響真空熱處理爐的功率及運(yùn)用壽命，選擇加熱體的結(jié)構(gòu)方法也是真空熱處理爐規(guī)劃的關(guān)鍵問題之一。依據(jù)結(jié)構(gòu)方法不同可分為片狀、板狀、帶狀、絲狀、鼠籠棒狀、網(wǎng)狀、棒狀等。
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真空熱處理技術(shù)的崛起和迅猛發(fā)展，一方面源于工業(yè)技術(shù)發(fā)展的需求，另一方面是因為真空熱處理具有其他熱處理不行比較的一系列杰出長處：避免被處理的工件外表氧化、脫碳并有復(fù)原除銹效果，省去外表磨削加工工序，從而節(jié)約原資料的耗費，節(jié)約加工時刻；真空脫氣效果，使資料外表純度進(jìn)步，進(jìn)步資料的疲勞強(qiáng)度、塑性和韌性，進(jìn)步耐腐蝕性；脫脂效果，除掉殘留油脂，進(jìn)步產(chǎn)品質(zhì)量；處理工件無氫脆危險，避免鈦和難熔金屬外表脆化；淬火變形??；與可控氣氛爐相比，不需優(yōu)質(zhì)可燃?xì)怏w氣源，蓄熱丟失小，熱效率高，節(jié)約能源，可完成快速升溫和快速降溫；真空熱處理工藝的安穩(wěn)性和重復(fù)性好；操作安全，自動化程度高，工作環(huán)境好，無污染無公害。
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真空爐石墨加熱體的允許外表負(fù)荷值比較大，而且，會運(yùn)用較大的石墨棒，這樣，輻射面積會變得更大，它們的外表負(fù)荷值都比較低，所以，規(guī)劃石墨電熱元件時不必考慮負(fù)荷因素的影響。
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石墨作為一種新型材料，其具有優(yōu)良特性，因而，被廣泛用于各個領(lǐng)域，并且取得了顯著成效石墨能夠在高溫環(huán)境下運(yùn)用，在常溫環(huán)境下，一般金屬強(qiáng)度要高于石墨強(qiáng)度，但當(dāng)溫度產(chǎn)生改變時，石墨的機(jī)械強(qiáng)度會不斷添加。石墨材料熔點高，蒸氣壓低，真空爐中會產(chǎn)生反響，然后起到凈化作用。這樣，即便在低真空度下，也能夠確保工件處理作用，讓真空體系得到簡化，并且，具有明顯經(jīng)濟(jì)效益。
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真空爐石墨配件在真空爐中起著至關(guān)重要的效果，其質(zhì)量和功能直接影響到整個真空爐的工作效果和可靠性。因此，選擇適合的真空爐石墨配件關(guān)于真空爐的長期安穩(wěn)工作至關(guān)重要。
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真空爐是實驗室及工業(yè)生產(chǎn)上常用的設(shè)備之一，可對零部件在真空狀態(tài)下加熱，發(fā)熱體是真空爐的發(fā)熱源，是真空爐的核心部件，也是一個易損部件，發(fā)熱體選用的制造資料對發(fā)熱體的功用影響巨大，現(xiàn)在，用作真空爐發(fā)熱體的資料品種繁多，歸納起來有兩大類：其一是難熔金屬，其二為石墨發(fā)熱體。
